臭氧发生器与低温等离子放电技术和放电原理一样，而放电电压3500v，几乎无氮氧化物产生。(老式工频臭氧发生器35000v，使用一段时间后，罐体内会产生大量氮氧化物溶胶，3500v放电，无任何残余物)
2、粉尘类物质，无论怎么过滤去除，总会有部分残余。由于废气是流经低温等离子放电区域的，淀粉、糊精等物质会粘附在内外电极表面，从而使低温等离子放电性能大幅度的降低或导致设备损坏。
水冷式工业用大型臭氧发生器设备本身与废气无任何关联，不会导致这一问题发生。(如果选用老式内置式臭氧发生器，放置于废气流通通道中，会和所谓的低温等离子一个性质，同样会因为电极结垢而损坏)
3、低温等离子脉冲电源技术不稳定，一组一电源，多组累加进行放电，相互中频干扰大，电源易损。臭氧发生器一机一电源，即使100kw机器，也是一个控制柜，一台变压器，一台放电室，技术成熟，可以长时间24小时连续稳定运行。
5、低温等离子名义上是电离废气，实际是电离空气产生臭氧，利用臭氧的强氧化性来进行废气处理。
6、低温等离子的放电效果和空气的湿度有极大的关系，湿度越大能耗越大，大量能量会被水分子吸收，以此来降低电离效果。而臭氧产生是自己一套完整而成熟的系统，不受湿度和温度的影响。
7、低温等离子处理废气，废气直接经过放电系统，对于易燃易爆气体带来很大安全风险隐患，易引起火灾等重大安全事故，实例有小鸟电动车喷漆废气采用低温等离子体发生爆炸。防爆环境绝对不允许使用。而臭氧投加是以管道形式把臭氧气体通入氧化塔体中，臭氧发生系统内部与废气无任何接触，没有一点安全隐患。
8、臭氧的产生要求干燥空气，空气露点在-40℃以下，产生的臭氧量能达到20-30mg/L。而常规空气不经过干燥处理，产生量只有标准产量的十分之一。这就是水分子对能量损耗的最好说明。而对于臭氧的氧化性能要求湿度越大，氧化效果越好。
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