具有15微米的测量激光束直径，手动XY千分尺定位台和用于查看PC上测量区域的照相机。该装置简单而坚固的设计提供了易用性和瞬时测量功能，是过度复杂的椭圆仪的受欢迎替代方案。

  LSE-MS椭圆仪使用*的StokesMeter技术（曾荣获Photonics Spectra和R＆D 100新产品奖），它没有运动部件，也没有调制器，能够迅速准确地确定入射角为70°的6328Å激光测量光束的完整偏振态。激光光源有充足的光强度，以提高吸收膜和粗糙散射膜的测量精度。激光源还具有光谱精确，稳定和持久的优势。它们的使用可以在光学器件，检测器和其他组件中实现的仪器设计，从而能够进行高度精确的测量。节约空间的设计占地面积小，但可容纳300mm宽的大型样品。

  LGEMP Windows软件用途广泛，可以测量单层膜（例如氧化物，氮化物和光致抗蚀剂）以及已知的1、2或3层堆栈的顶层，例如在氧化物上的多晶和在多晶上的氧化物在氧化物上。单层有机膜是LSE模型的精度和稳定能力的应用。

  “文件处理程序”可以保存和快速检索常用的测量设置参数。可以将四个用户定义的设置文件分配给一个步骤的“按即走”快捷按钮，以快速访问不同的测量设置。

  LGEMP程序中的放大PSI-Delta映射允许对薄膜模型进行理论上的“假设”类型模拟；对电影模型有更深入的了解。顶层薄膜厚度T1（粉红色线（红线（棕线），Y（黄线），D（绿线），左侧带有可移动滑块，可迅速显示变化的影响模型参数对薄膜折射率的分辨率和可测量性。浅绿色线的线。白线是Autofix Nf1的区域，在该区域中无法轻松解析索引。

  这种*的设备无需移动部件，也不需要调制器，能够迅速，准确地确定测量光束的完整偏振状态。

  上图显示了用于同时测量所有四个Stokes光参数的StokesMeter光旋光仪。待确定其偏振状态的光束以倾斜的入射角连续入射三个光电探测器表面，每个光电探测器表面均被部分光谱反射，并且每个光电探测器表面均产生与光电探测器的分数成比例的电信号。它吸收的辐射。第四光电探测器基本上吸收光，并检测其余的光。这样形成的四个输出形成一个4x1信号矢量I，它与输入斯托克斯矢量S线性相关，即I = AS。所以，小号通过获得S =甲（-1）予。4x4仪器矩阵A必须是非奇异的，这要求前三个检测器表面的入射平面都不同。对于给定的四个检测器布置，能够最终靠校准来计算或确定A。

  简单，紧凑的StokesMeter取代了由鼓，棱镜，编码器，开关，电动机和检测器及其相关电子设备组成的典型旋转分析仪组件。此外，消除了偏振器臂上的波片机构，以此来实现了快速，精确，无移动的椭圆偏振仪。

  斯托克斯（Stokes）椭圆仪的一项杰出功能是对由于样品不平整而导致的角射束偏差的微小变化进行了补偿；这样就可以在整个晶圆表面上进行快速，连续的测量，而无需暂停以校正聚焦和倾斜。。

  LSE-MS斯托克斯椭圆仪非常精确和稳定，在基本的复杂椭圆仪中是的价值。LSE-MS型椭偏仪附带LGEMP Windows软件，USB电缆，XY样品台和参考晶圆。它通过2个USB 2.0端口连接到WindowsPC或笔记本电脑。

  带有预装的驱动程序以及软件和安全电缆可选的Stokes校准套件L118-KIT使用4个Gaertner可追溯晶片加2美元玻璃（L118G-KIT）或4个NIST可追溯晶片加玻璃$ 3.5 K重新校准任何Stokes椭偏仪。L118N-KIT）。中号OST用户将不需要椭偏仪校准。适用于具有极其严格的公差和法规遵从用户的的半导体制造商。斯托克斯

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